バキュームテーブル

最近、基板加工機でうすい基板の加工の要求が多くなってきました。
うすい基板の加工にはバキュームテーブルが最適です。

◆2種類のバキュームテーブル

ミッツは2種類のバキュームテーブルを用意しています。
用途によって選択してください。

精密型　VTP-CRM

セラミックの吸着板を使用した精密型バキュームテーブルです。 50µm厚の基板にも対応できます。

普及型　VT-ABS

樹脂製の吸着板を使用したバキュームテーブルです。
200µm以上の基板厚に対応できます。

◆バキュームテーブルの原理とメリット

原理はごく簡単で、上の図の通りです。
メリットは、浮きやすいうすい基板をピタリと吸いつけ、 テープなどで固定する
必要がありません。

◆多孔質の素材

バキュームテーブルの素材は一般的に、セラミック製と樹脂製の2種類あります。
セラミック製は表面精度を良くするため研磨できますが樹脂製は目づまりしやすいので研磨できません。

◆素材と表面精度

バキュームテーブルを選ぶ際のポイントは、加工する基板の厚さです。
もし、うすい基板を加工する際は、表面精度の良いテーブルを選ぶ必要があります。
表面精度が悪いと均一な溝幅の加工ができなかったり、うすい基板の場合はツールが突き抜けたりします。

◆突き抜けるとバキューム機能が失われる

多孔質のテーブルにキズをつけると、だんだん吸着機能が失われ、 平面精度も悪くなります。
従って基板加工の際には、穴あけ・外形加工は避け、ミリング加工の場合でも、
突き抜けない加工をする必要があります。