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SPLASH
エッチング・現像装置

SPLASHは、スプレーノズルを搭載したメンテナンスフリーエッチング・現像装置です。
スプレーノズルを採用することにより、基板全体に圧をかけながら、まんべんなく薬品噴射を行い、エッチング・現像の際に薬品の効果をより引き出します。

特徴
- 自動ノズル洗浄、磁気ポンプ搭載メンテナンスフリーシステム
- 薬品を入れ替えることで、エッチングと現像のどちらの用途にも使用可能
- 0.1mm以下のパターン作製が可能
- 最大基板寸法 : 210 x 300mm
- タイマー運転機能
- 安全装置付きエッチングタンク蓋採用
- 温度制御が可能な1000Wヒーター搭載
- すすぎ用タンク 1槽搭載
- 前面にポリ塩化ビニール製の透明窓採用により
内部状況確認可能
- 一般的なエッチング液すべてに対応可能
- オーバーヒートヒューズ付き


仕様
寸法 (W x L x H) 660 x 600 x 1200mm
重量 30Kg
タンク容量 25 Liter
電源 230V, 1300W





ミッツ株式会社

本社所在地
(2014年9月1日より)

〒184-0002
東京都小金井市梶野町
1丁目2番21号

TEL.0422-60-3303
FAX.0422-60-3323

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